羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍也有超強(qiáng)的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯一兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機(jī)組的高真空機(jī)組。具體地講由于分子增壓泵耐壓高，所以可使前級泵易于處于高流量狀態(tài)；而分子增壓泵吸入壓力高，減緩了前級泵的預(yù)抽負(fù)擔(dān)。分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過時間壓力降低一個數(shù)量級的規(guī)律，因此，機(jī)組可以具有很高的抽氣效率。簡化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個優(yōu)勢。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?；瘧?yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡化。

      在某些中真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機(jī)組往往難于實現(xiàn)，而使用二級羅茨泵串接的三級機(jī)組可使真空度提高一個數(shù)量級而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級機(jī)組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿抽速，所以亦可以在三級中真空機(jī)組中取代兩級羅茨泵。一般地講，長時間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而長時間工作在中真空高端壓力范圍的羅茨泵相對而言應(yīng)該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強(qiáng)勁的抽速。這從宏觀上預(yù)測了分子增壓泵取代羅茨泵的前景。